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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0153754 (2022-11-16) | |
공개번호 | 10-2024-0074990 (2024-05-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220153754 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-11-16) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 반도체, 첨단메카닉 산업, 디스플레이등 첨단 제조공정용 특수배관에 사용되는 공정라인 히팅자켓에 관한 것으로서 본 발명에 의하면, 250℃미만에서 사용되어져 왔던 기존의 히팅자켓과는 달리, 사용온도를 기존보다 50℃~100℃ 상승시킴으로써 에너지 효율의 극대화를 도모할 수 있으며, 반도체 및 정밀 화학 산업의 생산성을 제고할 수 있으며, 특히 소재의 특성상 내열도가 273~400℃ 온도범위에서 안정적으로 사용할 수 있어 기존의 문제시되었던 고온에서 가용이 제한되었던 부분에 획기적으로 사용할 수 있게 되었다.
PTFE 직물 또는 폴리이미드가 함침된 유리섬유직물로 이루어진 외층;실리카 부직포 또는 유리섬유 부직포로 이루어진 중간층;폴리이미드가 함침된 유리섬유 직물로 이루어진 내층이 순차적으로 적층된 것을 특징으로 하는 고온내열성이 우수한 배관용 히팅자켓.
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