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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0170134 (2022-12-07) | |
공개번호 | 10-2024-0085076 (2024-06-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220170134 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-12-07) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 검사평면 상에서 재물대를 이동시킬 수 있도록 구비된 베이스구동모듈; 상기 재물대 상에 위치한 검사 대상 샘플을 관찰할 수 있도록 설치된 현미경카메라; 상기 현미경카메라를 상기 샘플에 대하여 이동시켜 초점을 조절할 수 있도록 구비된 현미경카메라구동모듈; 상기 샘플의 검사를 수행할 검사툴을 구비한 검사장치를 3차원 상으로 이동시킬 수 있도록 구비된 검사장치구동모듈; 상기 현미경카메라에서 촬영된 영상 속의 샘플의 위치 정보를 기반으로 상기 베이스구동모듈과 검사장치구동모듈을 구동하여, 상기 검사툴을 상기 샘플에 접촉시키고, 상기
검사평면 상에서 재물대를 이동시킬 수 있도록 구비된 베이스구동모듈;상기 재물대 상에 위치한 검사 대상 샘플을 관찰할 수 있도록 설치된 현미경카메라;상기 현미경카메라를 상기 샘플에 대하여 이동시켜 초점을 조절할 수 있도록 구비된 현미경카메라구동모듈;상기 샘플의 검사를 수행할 검사툴을 구비한 검사장치를 3차원 상으로 이동시킬 수 있도록 구비된 검사장치구동모듈;상기 현미경카메라에서 촬영된 영상 속의 샘플의 위치 정보를 기반으로 상기 베이스구동모듈과 검사장치구동모듈을 구동하여, 상기 검사툴을 상기 샘플에 접촉시키고, 상기 검사툴과 샘플의
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