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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0182740 (2022-12-23) | |
공개번호 | 10-2023-0098067 (2023-07-03) | |
등록번호 | 10-2653042-0000 (2024-03-26) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210187252 (2021-12-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220182740 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2023-06-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 몰리브데늄 전구체 화합물, 이를 포함하는 몰리브데늄-함유 막 형성용 조성물, 이를 이용하여 형성된 몰리브데늄-함유 막, 및 상기 몰리브데늄-함유 막의 증착 방법에 관한 것이다. 상기 몰리브데늄 전구체 화합물은 단일 구조를 갖고 순도가 높아 품질이 우수한 몰리브데늄-함유 막을 형성할 수 있으며, 열적 안정성이 우수하고, 비저항이 낮아 반도체 분야에서 다양한 활용이 가능하다. 특히, 상기 몰리브데늄 전구체 화합물은 표면에 패턴(홈)이 있는 기재, 다공성 기재, 플라스틱 기재, 또는 복잡한 형상의 기재에서도 우수한 피복성 및
하기 화학식 1-2 또는 화학식 1-3으로 표시되는, 몰리브데늄 전구체 화합물:[화학식 1-2][화학식 1-3].
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