초록 ▼

액체 시트 제트 타겟을 사용하여 레이저 생성 플라즈마(LPP)로부터 X-선 조명을 생성하기 위한 방법 및 시스템이 여기에 제시된다. 고도로 집속된 짧은 지속시간의 레이저 펄스가 액체 시트 제트 타겟으로 지향된다. 시트 제트 타겟과의 집속된 레이저 펄스의 상호작용은 플라즈마를 점화한다. 일부 실시예에서, 액체 시트 제트는 수렴형 모세관 노즐 또는 수렴형 평면 캐비티 노즐에 의해 생성된다. 일부 실시예에서, 타겟 재료는 상대적으로 낮은 원자 번호를 갖는 하나 이상의 원소를 포함한다. 일부 실시예에서, 액체 시트 제트 LPP 광 소스는

액체 시트 제트 타겟을 사용하여 레이저 생성 플라즈마(LPP)로부터 X-선 조명을 생성하기 위한 방법 및 시스템이 여기에 제시된다. 고도로 집속된 짧은 지속시간의 레이저 펄스가 액체 시트 제트 타겟으로 지향된다. 시트 제트 타겟과의 집속된 레이저 펄스의 상호작용은 플라즈마를 점화한다. 일부 실시예에서, 액체 시트 제트는 수렴형 모세관 노즐 또는 수렴형 평면 캐비티 노즐에 의해 생성된다. 일부 실시예에서, 타겟 재료는 상대적으로 낮은 원자 번호를 갖는 하나 이상의 원소를 포함한다. 일부 실시예에서, 액체 시트 제트 LPP 광 소스는 반도체 구조체의 구조적 및 재료 특성을 측정하는데 사용되는 연질 X-선(SXR) 스펙트럼 범위에서 다수의 라인 또는 광대역 X-선 조명을 생성한다. 일부 실시예에서, 반사 소각 X-선 산란계측 측정이 여기에 기술된 바와 같이 액체 시트 제트 LPP 조명 소스로 수행된다.

대표청구항 ▼

레이저 생성 플라즈마 광 소스(laser produced plasma light source)에 있어서,플라즈마 챔버 내에 버퍼 가스의 흐름을 수용하도록 부분적으로 작동가능한 적어도 하나의 벽을 갖는 상기 플라즈마 챔버;액체 상태에 있는 비금속성(non-metallic) 공급 재료(feed material)의 하나 이상의 시트 제트(sheet jets)의 캐스케이드(cascade)를 상기 플라즈마 챔버 내로 분배하는 액체 시트 제트 노즐;상기 플라즈마 챔버 내에서 상기 공급 재료의 하나 이상의 시트 제트 중 하나로 지향되는 여기 광

레이저 생성 플라즈마 광 소스(laser produced plasma light source)에 있어서,플라즈마 챔버 내에 버퍼 가스의 흐름을 수용하도록 부분적으로 작동가능한 적어도 하나의 벽을 갖는 상기 플라즈마 챔버;액체 상태에 있는 비금속성(non-metallic) 공급 재료(feed material)의 하나 이상의 시트 제트(sheet jets)의 캐스케이드(cascade)를 상기 플라즈마 챔버 내로 분배하는 액체 시트 제트 노즐;상기 플라즈마 챔버 내에서 상기 공급 재료의 하나 이상의 시트 제트 중 하나로 지향되는 여기 광(excitation light)의 펄스를 생성하는 펄스 레이저(pulsed laser) - 상기 공급 재료의 시트 제트와의 상기 여기 광의 펄스의 상호작용이, 상기 시트 제트가 이온화되어 조명 광을 방출하는 플라즈마를 형성하게 하고, 상기 조명 광은 10 전자볼트(electronvolts) 내지 5,000 전자볼트의 스펙트럼 영역에서의 하나 이상의 라인 방출(line emission)을 포함하고, 상기 조명 광은 측정 중인 시료를 조명하는데 사용가능함 - ; 및상기 플라즈마 챔버 내의 상기 버퍼 가스의 흐름을 향해 동적 이온(kinetic ions)을 유도하기(drive) 위해 상기 플라즈마 챔버의 일부에 걸쳐 배치된 자기장 소스를 포함하는, 레이저 생성 플라즈마 광 소스.