초록 ▼

광 유지 플라즈마 형성을 통해 광대역 광을 생성하기 위한 광학 시스템은, 챔버, 조명원, 집속 광학장치의 세트, 및 수집 광학장치의 세트를 포함한다. 챔버는 제1 상의 버퍼 재료 및 제2 상의 플라즈마 형성 재료를 포함하도록 구성된다. 조명원은 연속파 펌프 조명을 생성하도록 구성된다. 집속 광학장치의 세트는, 적어도 상기 플라즈마 형성 재료의 여기에 의해 플라즈마를 생성하기 위해, 연속파 펌프 조명을 버퍼 재료를 통해 버퍼 재료와 플라즈마 형성 재료 사이의 계면에 집속시킨다. 수집 광학장치의 세트는, 플라즈마로부터 방출되는 광대역

광 유지 플라즈마 형성을 통해 광대역 광을 생성하기 위한 광학 시스템은, 챔버, 조명원, 집속 광학장치의 세트, 및 수집 광학장치의 세트를 포함한다. 챔버는 제1 상의 버퍼 재료 및 제2 상의 플라즈마 형성 재료를 포함하도록 구성된다. 조명원은 연속파 펌프 조명을 생성하도록 구성된다. 집속 광학장치의 세트는, 적어도 상기 플라즈마 형성 재료의 여기에 의해 플라즈마를 생성하기 위해, 연속파 펌프 조명을 버퍼 재료를 통해 버퍼 재료와 플라즈마 형성 재료 사이의 계면에 집속시킨다. 수집 광학장치의 세트는, 플라즈마로부터 방출되는 광대역 방사를 수용한다.

대표청구항 ▼

광 유지 플라즈마 형성(light-sustained plasma formation)을 통해 광대역 광(broadband light)을 생성하기 위한 광학 시스템으로서,액상의 플라즈마 형성 재료의 흐름을 생성하도록 구성되는 액체 흐름 어셈블리;연속파 펌프 조명(continuous-wave pump illumination)을 생성하도록 구성되는 조명원;상기 플라즈마 형성 재료의 여기(excitation)에 의해 플라즈마를 생성하기 위해, 상기 플라즈마 형성 재료의 볼륨 안으로 상기 연속파 펌프 조명을 집속하도록 구성되는 집속 광학장치(

광 유지 플라즈마 형성(light-sustained plasma formation)을 통해 광대역 광(broadband light)을 생성하기 위한 광학 시스템으로서,액상의 플라즈마 형성 재료의 흐름을 생성하도록 구성되는 액체 흐름 어셈블리;연속파 펌프 조명(continuous-wave pump illumination)을 생성하도록 구성되는 조명원;상기 플라즈마 형성 재료의 여기(excitation)에 의해 플라즈마를 생성하기 위해, 상기 플라즈마 형성 재료의 볼륨 안으로 상기 연속파 펌프 조명을 집속하도록 구성되는 집속 광학장치(focusing optics)의 세트 - 상기 플라즈마의 단면의 길이는 상기 플라즈마 형성 재료의 흐름의 단면의 길이보다 큼 - ; 및상기 플라즈마로부터 방출되는 광대역 방사를 수용하도록 구성되는 수집 광학장치의 세트를 포함하는, 광학 시스템.