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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7017907 (2022-05-26) | |
공개번호 | 10-2022-0093148 (2022-07-05) | |
등록번호 | 10-2684458-0000 (2024-07-09) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/929,560 (2019-11-01);미국(US) 17/076,767 (2020-10-21) | |
국제출원번호 | PCT/US2020/057434 (2020-10-27) | |
국제공개번호 | WO 2021/086799 (2021-05-06) | |
번역문제출일자 | 2022-05-26 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227017907 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2023-09-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
액체 시트 제트 타겟을 사용하여 레이저 생성 플라즈마(LPP)로부터 X-선 조명을 생성하기 위한 방법 및 시스템이 여기에 제시된다. 고도로 집속된 짧은 지속시간의 레이저 펄스가 액체 시트 제트 타겟으로 지향된다. 시트 제트 타겟과의 집속된 레이저 펄스의 상호작용은 플라즈마를 점화한다. 일부 실시예에서, 액체 시트 제트는 수렴형 모세관 노즐 또는 수렴형 평면 캐비티 노즐에 의해 생성된다. 일부 실시예에서, 타겟 재료는 상대적으로 낮은 원자 번호를 갖는 하나 이상의 원소를 포함한다. 일부 실시예에서, 액체 시트 제트 LPP 광 소스는
레이저 생성 플라즈마 광 소스(laser produced plasma light source)에 있어서,플라즈마 챔버 내에 버퍼 가스의 흐름을 수용하도록 부분적으로 작동가능한 적어도 하나의 벽을 갖는 상기 플라즈마 챔버;액체 상태에 있는 비금속성(non-metallic) 공급 재료(feed material)의 하나 이상의 시트 제트(sheet jets)의 캐스케이드(cascade)를 상기 플라즈마 챔버 내로 분배하는 액체 시트 제트 노즐;상기 플라즈마 챔버 내에서 상기 공급 재료의 하나 이상의 시트 제트 중 하나로 지향되는 여기 광
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