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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7021025 (2022-06-21) | |
공개번호 | 10-2022-0126717 (2022-09-16) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2020-003681 (2020-01-14) | |
국제출원번호 | PCT/JP2020/045024 (2020-12-03) | |
국제공개번호 | WO 2021/145087 (2021-07-22) | |
번역문제출일자 | 2022-06-21 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227021025 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
로드 포트와의 사이에서 FOUP를 이송하는 FOUP 이송 장치로서, 이미 설치되어 있는 반송 장치의 개조 작업을 가능한 한 적게 할 수 있는 FOUP 이송 장치를 제공하는 것. 1개 또는 그 이상의 로드 포트(18-1, 18-2)를 구비하는 반송 장치의 로드 포트 근방에 설치되고, 로드 포트(18-1, 18-2)와의 사이에서 FOUP(3)의 주고 받기를 행하는 FOUP 이송 장치(1-1, 1-2)로서, FOUP 이송 장치(1-1, 1-2)는 제 1 광 I/O 통신 장치(31-3, 31-4)를 갖고 있고, 또한, 로드 포트(18-1,
1개 또는 그 이상의 로드 포트를 구비하는 반송 장치의 상기 로드 포트 근방에 설치되고, 상기 로드 포트와의 사이에서 FOUP의 주고 받기를 행하는 FOUP 이송 장치로서,상기 FOUP 이송 장치는 제 1 통신 장치를 갖고 있고, 또한, 상기 로드 포트가 구비하는 제 2 통신 장치가 접속되고, 상기 로드 포트와 OHT 반송 대차가 구비하는 제 3 통신 장치 사이에서 행하는 통신을 상기 로드 포트를 대신해서 행하는 것을 특징으로 하는 FOUP 이송 장치.
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