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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7039432 (2022-11-10) | |
공개번호 | 10-2022-0156108 (2022-11-24) | |
등록번호 | 10-2577570-0000 (2023-09-07) | |
우선권정보 | 미국(US) 14/555,467 (2014-11-26) | |
국제출원번호 | PCT/US2015/062010 (2015-11-20) | |
국제공개번호 | WO 2016/085826 (2016-06-02) | |
번역문제출일자 | 2022-11-10 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227039432 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-11-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
비례 열 유체 전달 시스템을 사용하는 기판 캐리어가 설명된다.일 예에서, 장치는, 기판 캐리어의 유체 채널에 열 유체를 제공하고 그리고 유체 채널로부터 열 유체를 수신(receive)하기 위한 열 교환기를 포함하며, 유체 채널 내의 열 유체는 기판 프로세싱 동안 캐리어의 온도를 제어하기 위한 것이다.비례 밸브(proportional valve)가 열 교환기로부터 유체 채널로의 열 유체의 유량을 제어한다.온도 제어기는, 캐리어의 열 센서로부터 측정된 온도를 수신하며, 그리고 유량을 조정하기 위해, 측정된 온도에 응답하여 비례 밸브를
워크피스를 프로세싱하기 위한 방법으로서, 플라즈마 챔버에서 가스 이온들을 포함하는 플라즈마를 생성하는 단계; 워크피스 홀더 상의 워크피스에 상기 플라즈마를 적용(applying)하는 단계;유체 채널에 열 유체를 제공하고 상기 유체 채널로부터 상기 열 유체를 수신하는 열 교환기, 및 상기 유체 채널에 제 2 열 유체를 제공하는 제 2 열 교환기를 사용하여, 상기 워크피스 홀더의 열 유체 채널을 통해 상기 워크피스의 온도를 조절하는 단계를 포함하고,상기 유체 채널 내의 상기 열 유체는 기판 프로세싱 동안, 상기 열 교환기로부터 상기 유
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