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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7046043 (2022-12-28) | |
공개번호 | 10-2023-0017862 (2023-02-06) | |
우선권정보 | 독일(DE) 10 2020 206 921.2 (2020-06-03) | |
국제출원번호 | PCT/EP2021/062965 (2021-05-17) | |
국제공개번호 | WO 2021/244839 (2021-12-09) | |
번역문제출일자 | 2022-12-28 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227046043 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 입자 수 센서(16)에 관한 것이며, 상기 입자 수 센서(16)는 레이저(18), 제 1 광학 요소(20) 및 제 2 광학 요소(23)를 포함하고, 상기 제 1 광학 요소(20)는 레이저(18)로부터 입사하는 레이저 방사선(10)을 레이저 스폿(22) 내로 집속시키고, 제 2 광학 요소(23)는 레이저 스폿(22)으로부터 나오는 열 방사(14)를 열 방사 스폿(29) 내로 집속시킨다. 상기 입자 수 센서는 또한 집속된 열 방사(14)에 의해 조명되는 검출 장치(26)를 포함한다. 상기 입자 수 센서는 상기 검출 장치(26
입자 수 센서(16)로서, 상기 입자 수 센서(16)는 레이저 방사선(10)을 방출할 수 있는 레이저(18), 제 1 광학 요소(20) 및 제 2 광학 요소(23)를 포함하고, 상기 제 1 광학 요소(20)는 상기 레이저(18)로부터 입사하는 레이저 방사선(10)을 레이저 스폿(22) 내로 집속시키도록 상기 레이저 방사선(10)의 빔 경로 내에 배치되고, 상기 제 2 광학 요소(23)는 상기 레이저 스폿(22)으로부터 나오는 열 방사(14)를 열 방사 스폿(29) 내로 집속시키도록 배치되고, 상기 입자 수 센서(16)는 또한 검출
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