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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-0010790 (2023-01-27) | |
등록번호 | 10-2612462-0000 (2023-12-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020230010790 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2023-01-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 아노다이징 처리가 가능한 금속 소재를 포함하는 작업 스테이지 표면을 탈지 및 에칭하는 전처리 공정, 아노다이징 공정 및 실링 공정을 포함하는 아노다이징 처리에 의하여 아노다이징층을 형성하는 단계; 및 상기 아노다이즈층이 형성된 작업 스테이지를 대전방지 코팅액에 침지하여 대전방지 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는 금속 소재의 작업 스테이지 표면 대전방지처리 방법을 제공한다.
아노다이징 처리가 가능한 금속 소재를 포함하는 작업 스테이지 표면을 탈지 및 에칭하는 전처리 공정, 아노다이징 공정 및 실링 공정을 포함하는 아노다이징 처리에 의하여 아노다이징층을 형성하는 단계; 및상기 아노다이즈층이 형성된 작업 스테이지를 대전방지 코팅액에 침지하여 대전방지 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 대전방지 코팅액은 디에틸아미노에틸 메타크릴레이트(2-(diethylamino)ethyl methacrylate; DEAEMA) 단량체 단위 23-27 중량%, 하이드록시에틸 메타크릴레이트(2-hydroxyethyl me
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