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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-0059519 (2023-05-09) | |
공개번호 | 10-2023-0161885 (2023-11-28) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2022-082118 (2022-05-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020230059519 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2023-05-09) | |
법적상태 | 공개 |
[과제] 보다 빠르게 기판을 균일하게 냉각할 수 있는 쿨링 플레이트를 제공한다.[해결 수단] 쿨링 플레이트는 기판을 지지하는 리프트 핀과, 기판을 탑재 가능한 탑재면과, 탑재면 내에 배치되며, 리프트 핀으로 탑재면으로부터 들어올려진 상태의 기판에 대해, 불활성 가스를 직진류와 선회류를 조합하여 불어넣는 노즐을 갖는다.
기판을 지지하는 리프트 핀과,상기 기판을 탑재 가능한 탑재면과,상기 탑재면 내에 배치되며, 상기 리프트 핀으로 상기 탑재면으로부터 들어올려진 상태의 상기 기판에 대해, 불활성 가스를 직진류와 선회류를 조합하여 불어넣는 노즐을 갖는쿨링 플레이트.
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