초록

본 개시의 일 실시예에 따르면, 플라즈마가 생성되는 공간을 제공하는 방전관의 측면 둘레에 배치되는 안테나 구조체로, n개의 단위 안테나들을 포함하고, 상기 n개의 단위 안테나들 각각은, 제1 곡률 반경을 가지는 제1 아크부분, 제2 곡률 반경을 가지는 제2 아크부분, 및 상기 제1 아크부분과 상기 제2 아크 부분을 연결하는 아크연결부분을 포함하고, 서로 인접한 제m 단위 안테나와 제m+1 단위 안테나의 아크연결부분이 방전관의 중심을 기준으로 이루는 각도가 360/n도(degree)가 되도록 배치되는 안테나 구조체가 제공될 수 있다.

대표청구항 ▼

플라즈마가 생성되는 공간을 제공하는 방전관의 측면 둘레에 배치되는 안테나 구조체에 있어서,제1 단위 안테나 내지 제n 단위 안테나를 포함하는 n개의 단위 안테나들(n은 2 이상의 자연수)을 포함하고,상기 n개의 단위 안테나들 각각은,제1 단과 제2 단을 포함하고 제1 곡률 반경을 가지는 제1 아크부분;제3 단과 제4 단을 포함하고 제2 곡률 반경을 가지는 제2 아크부분; 및상기 제1 아크부분의 상기 제2 단과 상기 제2 아크 부분의 상기 제3 단을 연결하는 아크연결부분;을 포함하고,서로 인접한 제m 단위 안테나(m은 n 보다 작은

플라즈마가 생성되는 공간을 제공하는 방전관의 측면 둘레에 배치되는 안테나 구조체에 있어서,제1 단위 안테나 내지 제n 단위 안테나를 포함하는 n개의 단위 안테나들(n은 2 이상의 자연수)을 포함하고,상기 n개의 단위 안테나들 각각은,제1 단과 제2 단을 포함하고 제1 곡률 반경을 가지는 제1 아크부분;제3 단과 제4 단을 포함하고 제2 곡률 반경을 가지는 제2 아크부분; 및상기 제1 아크부분의 상기 제2 단과 상기 제2 아크 부분의 상기 제3 단을 연결하는 아크연결부분;을 포함하고,서로 인접한 제m 단위 안테나(m은 n 보다 작은 자연수)와 제m+1 단위 안테나는, 상기 방전관의 중심과 상기 제m 단위 안테나의 아크연결부분을 잇는 가상의 제1 선과 상기 방전관의 중심과 상기m+1 단위 안테나의 아크연결부분을 잇는 가상의 제2 선이 이루는 각도가 360/n도(degree)가 되도록 배치되며,상기 제1 곡률 반경은 상기 제2 곡률 반경과 다른,안테나 구조체.