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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1991-0022014 (1991-12-11) |
공개번호 | 20-1993-0016261 (1993-07-28) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019910022014 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
에칭챔버(1) 양측 상하부에 구동모터에 의해 회전할수 있도록한 수개의 회전로울러(2)(2')를 축설하고, 이 수개의 회전로울러(2)(2')외주연에는 평벨트(3)(3')를 설치하여 구성된것을 특징으로 하는 리드 프레임 에칭장치.
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