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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1993-0006265 (1993-04-20) |
공개번호 | 20-1994-0025557 (1994-11-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019930006265 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
1. 웨이퍼의 하부면과 접촉하고 있는 진공척의 끝단부 형상이 웨이퍼의 평면적의 크기보다 크고, 상기 진공척의상부면에 웨이퍼가 삽입되어 삽입된 웨이퍼의 상부면과 진공척의 상부면이 수평을 이루도록 웨이퍼와 동일한 크기의 홈을 형성한 웨이퍼 오염방지 진공척.2. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼의 면적보다 크게 형성된 진공척의 상부면이 평평한 원판형으로 된 웨이퍼 오염방지 진공척.
대표청구항이 없습니다.
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