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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 20-1993-0006969 (1993-04-29) |
공개번호 | 20-1994-0025540 (1994-11-18) |
등록번호 | 20-0148595-0000 (1999-03-18) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019930006969 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (1996-04-29) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 고안은 스퍼터링 챔버의 아웃가스 제거장치에 관한 것으로, 금속막 품질에 나쁜 영향을 끼치는 아웃가스 및 이물질들을 보다 효과적으로 제거 시킬수 있도록 한 것인바, 이러한 본 고안은 챔버 몸체(1) 내부의 타켓(4)과 쉴드(6)와의 사이에 챔버내부의 하드-베킹을 위한 고온열판(10)을 구동수단으로 정, 역 회동가능하게 설치하여 챔버내부를 하드 베킹 함으로써 보다 빠른시간내에 보다 완벽히 아웃가스를 제거 시킬 수 있도록 한 것이다.상기 고온열판(10)은 스테인레스 재질의 반원형판(10a)의 내부에 열선코일(10b)이 내장되어 형성
챔버몸체(1) 내부의 타켓(4)과 쉴드(6)와의 사이에 챔버내부의 하드-베킹을 위한 고온열판(10)을 구동수단으로 정,역 회동가능하게 설치하여서된 스퍼터링 챔버의 아웃가스 제거장치.
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