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연합인증

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[한국특허] 와류방지용석영 튜브 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개실용신안
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/304
출원번호 20-1994-0029677 (1994-11-09)
공개번호 20-1996-0019104 (1996-06-19)
DOI http://doi.org/10.8080/2019940029677
발명자 / 주소
  • 이철모 / 경기도이천군이천읍창전*리동명타운***호
  • 맹일구 / 경기도이천군부발읍아미리산***-*현대사원아파트***-***
출원인 / 주소
  • 주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산***-*
대리인 / 주소
  • 특허법인 신성 (Shinsung Patent Firm)
  • 서울 송파구 가락동 **-*번지 **타워 ***호
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

[청구범위]1. 소정의 공정가스를 주입시켜 페시베이션 공정을 수행하기 위한 석영튜브에 있어서, 상기 석영튜브는 그 일측 외주연부가 소정크기 만큼 라운딩되어 상기 석영튜브내의 압력과 가스의 압력차이에 의한 와류현상을 방지한 것을 특징으로 하는 와류방지용 석영튜브.

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

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