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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2008-0109419 (2008-11-05) |
| 공개번호 | 10-2010-0050227 (2010-05-13) |
| 등록번호 | 10-1043362-0000 (2011-06-15) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020080109419 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2008-11-05) |
| 심사진행상태 | 등록결정(심사전치후) |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 석영 튜브 세정액 조성물 및 이를 이용한 석영 튜브 세정 방법에 관한 것으로, 구체적으로 할로겐화 암모늄염 화합물, 극성 유기용매 및 잔량의 산을 포함하며, 선택적으로 계면활성제 및 증류수로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나 이상의 첨가제를 더 포함하는 세정액 조성물을 이용함으로써, 석영 튜브 표면의 이물질을 효과적으로 제거할 수 있는 세정하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법에 의해, 세정 공정을 수행하는 동안 석영 튜브의 표면 손상을 최소화하여, 석영 튜브를 포함하는 각종 제조 장치의 교체 시기를 늦출 수 있으
전체 세정액 조성물 중에 1 내지 50중량%의 비율로 포함되는 할로겐화 암모늄염 화합물과,전체 세정액 조성물 중에 0.1 내지 20중량%의 비율로 포함되며, 디메틸설폭사이드(DMSO), 디메틸 포름아미드(DMF), 테트라하이드로퓨란(THF) 및 1-메틸-2-피롤리디논으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 극성 유기 용매, 및잔량의 산을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 튜브용 세정액 조성물.
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