초록 ▼

본 고안은 웨이퍼를 핸들링하는 진공 트위저에 관한 것으로, 종래의 트위저가 웨이퍼 표면의 손상을 일으키고, 트위저의 사용에 있어 불편한 점이 있는 것을 해결하기 위한 것이다. 본 고안은 트위저 하우징(1)과, 상기 하우징(1)의 내부에 끼워넣어져 진공을 발생시키는 진공발생부와, 상기 하우징(1)의 선단부에 연결 설치되어 웨이퍼를 파지하는 흡착부로 구성된다. 상기 하우징(1)은 그 외면 일측에 흡착조작부 설치공(2)이 형성되고, 외면 타측에 분리조작부 설치공(3)이 형성되며, 하우징(1)의 선단부에는 흡착부연결공(7)이 형성되고, 상

본 고안은 웨이퍼를 핸들링하는 진공 트위저에 관한 것으로, 종래의 트위저가 웨이퍼 표면의 손상을 일으키고, 트위저의 사용에 있어 불편한 점이 있는 것을 해결하기 위한 것이다. 본 고안은 트위저 하우징(1)과, 상기 하우징(1)의 내부에 끼워넣어져 진공을 발생시키는 진공발생부와, 상기 하우징(1)의 선단부에 연결 설치되어 웨이퍼를 파지하는 흡착부로 구성된다. 상기 하우징(1)은 그 외면 일측에 흡착조작부 설치공(2)이 형성되고, 외면 타측에 분리조작부 설치공(3)이 형성되며, 하우징(1)의 선단부에는 흡착부연결공(7)이 형성되고, 상기 진공발생부의 선단부는 상기 하우징(1)의 흡착부연결공(7)과 연통된다. 그리고 상기 진공발생부는 탄력있는 고무로 만들어진 탄성튜브(4)이고 상기 흡착부는 웨이퍼를 부착시키는 흡착판(8)과, 상기 흡착판(8)의 흡착공(9)과 상기 하우징(1)의 진공발생부를 연통시키는 파이프(10)로 구성된다. 상기와 같은 본 고안에 의한 진공 트위저는 진공 트위저를 작동하기 위한 동력과 진공압력을 전달하기 위한 라인이 필요없게 되어 구조가 간단하고 제작원가가 저렴하다는 이점이 있고 구조가 간단하여 작동을 손쉽게 할 수 있는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

외면 일측에 흡착조작부 설치공이 형성되고 외면 타측에 상기 흡착조작부 설치공보다 작은 크기의 분리조작부 설치공이 형성되며 그 선단부에는 흡착부 연결공이 형성되는 트위저 하우징과, 상기 하우징의 내부에 거의 대부분이 끼워 넣어지며 상기 흡착조작부 설치공을 통해 외부로 돌출되는 흡착조작부와 상기 분리조작부 설치공을 통해 외부로 돌출되는 상기 흡착조작부의 신축 용적보다 작은 신축용적을 가지는 분리조작부와 상기 흡착부 연결공에 연통 연결되는 흡입공을 가지는 탄성튜브를 가지는 진공발생부와, 상기 하우징의 선단에 형성된 흡착부 연결공을 통해

외면 일측에 흡착조작부 설치공이 형성되고 외면 타측에 상기 흡착조작부 설치공보다 작은 크기의 분리조작부 설치공이 형성되며 그 선단부에는 흡착부 연결공이 형성되는 트위저 하우징과, 상기 하우징의 내부에 거의 대부분이 끼워 넣어지며 상기 흡착조작부 설치공을 통해 외부로 돌출되는 흡착조작부와 상기 분리조작부 설치공을 통해 외부로 돌출되는 상기 흡착조작부의 신축 용적보다 작은 신축용적을 가지는 분리조작부와 상기 흡착부 연결공에 연통 연결되는 흡입공을 가지는 탄성튜브를 가지는 진공발생부와, 상기 하우징의 선단에 형성된 흡착부 연결공을 통해 상기 탄성튜브의 흡입공에 연통 연결되는 파이프와 상기 파이프의 선단에 확대 형성되어 흡착공이 형성된 흡착판을 가지는 흡착부로 구성됨을 특징으로 하는 진공 트위저.