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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 20-1995-0013920 (1995-06-20) |
| 공개번호 | 20-1997-0003258 (1997-01-24) |
| 등록번호 | 20-0173016-0000 (1999-12-16) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/2019950013920 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (1997-08-25) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
1. 청구 범위에 기재된 고안이 속한 기술분야반도체 제조 장비에 사용되는 세척 장치.2. 고안이 해결하려고 하는 기술적 과제웨이퍼 이송용 벨트의 파티클을 식각하여 제거하고, 린스 공정을 수행하고, 질소 퍼지를 실시하여 파티클을 이탈시키는 종래의 웨이퍼 이송용 벨트의 세척 장치 만으로는 웨이퍼 이송용 벨트의 파티클 제거가 쉽지않다는 문제점을 해결하고자 함.3. 고안의 해결방법의 요지소정의 온도로 가열된 질소 가스를 이용하여 웨이퍼 이송용 벨트의 퍼지를 실시하고, 그때 이탈되는 파티클을 배출수단에 연결된 흡입수단을 이용하여 밖으로 배출
웨이퍼 이송용 벨트의 세척 장치에 있어서, 고온, 고압의 질소가스를 이용하여 상기 웨이퍼 이송용 벨트의 파티클을 퍼지하는 수단인 다수의 홀을 가진 질소 가스 분사수단과, 상기 질소 가스 분사수단에 질소 가스를 공급하기 위한 질소 가스 공급수단과, 상기 질소 가스 분사수단에 질소 가스가 주입되기 전에 소정의 온도로 상기 질소 가스를 가열하기 위한 가열수단과, 상기 질소 분사수단의 퍼지로 인하여 이탈되는 파티클을 강제 배기 시키기 위한 배출수단 및 상기 배출수단에 연결되어 상기 질소 가스 분사수단의 퍼지로 인하여 이탈되는 파티클을 흡착
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