[특허]반도체 현상 장비의 현상액분사 장치

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[한국특허] 반도체 현상 장비의 현상액분사 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개실용신안
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/027
출원번호	20-1995-0038427 (1995-12-05)
공개번호	20-1997-0046602 (1997-07-31)
DOI	http://doi.org/10.8080/2019950038427
발명자 / 주소	조성수 / 경기도고양시장항동*번지호수마을동**호
출원인 / 주소	주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산**-
대리인 / 주소	최홍순 (CHOI, Hong Soon) 서울시 금천구 가산동 **- 월드메르디앙 벤처센터 Ⅱ ***호(특허법인세신)
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록 ▼

[청구범위] 1.웨이퍼척위에 놓인 웨이퍼에 현상액을 분사하는 노즐과 상기 노즐과 현상액 저장 탱크를 연결하는 노즐관으로 이루어지는 노즐 조립체를 포함하는 반도체 현상장비의 현상액 분사장치에 있어서, 상기 노즐 조립체의 높낮이를 조절하기 위한 수단을 구비하여 웨이퍼의 사이즈에 따라 현상액의 분사 범위를 조정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 현상장비의 현상액 분사장치.[청구범위] 2.제1항에 있어서, 상기 높낮이 조절수단은 노즐 조립체에 연결, 설치되어 노즐 조립체를 상승 및 하강시키는 스텝핑 모터와, 상기 스텝핑 모터의 동작 제어를 위한 스위치로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 현상장비의 현상액 분사장치.[청구범위] 3.제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 노즐 조립체의 노즐은 하부로 확장되는깔때기 형상의 몸체 하면에 수개의 분사공 60도 간격을 유지하여 방사형으로 형성되어 현상액의 분사 압력을 분산시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 현상장비의 현상액 분사장치.

대표청구항

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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