초록 ▼

본 고안은 반도체소자 제조 공정에 사용되는 질소 박스 내부의 압력이 도어의 개폐 여부와 관계없이 동일하게 유지되어, 질소 박스의 도어 개방시 박스 내·외부의 압력차로 의해 질소 박스 내부로 이물질이 유입되는 현상이 방지될 수 있도록 한 것이다.이를 위해, 본 고안은 웨이퍼가 수납되는 질소 박스(1) 일측에 장착되어 상기 질소 박스(1) 내부의 압력을 검출하는 압력센서(2)와, 상기 질소 박스(1)에 연결된 질소가스 공급관(3)에 설치되어 관로의 개폐량을 직접 제어하는 자동압력제어밸브(4)와, 상기 압력센서(2)와 자동압력제어밸브(4

본 고안은 반도체소자 제조 공정에 사용되는 질소 박스 내부의 압력이 도어의 개폐 여부와 관계없이 동일하게 유지되어, 질소 박스의 도어 개방시 박스 내·외부의 압력차로 의해 질소 박스 내부로 이물질이 유입되는 현상이 방지될 수 있도록 한 것이다.이를 위해, 본 고안은 웨이퍼가 수납되는 질소 박스(1) 일측에 장착되어 상기 질소 박스(1) 내부의 압력을 검출하는 압력센서(2)와, 상기 질소 박스(1)에 연결된 질소가스 공급관(3)에 설치되어 관로의 개폐량을 직접 제어하는 자동압력제어밸브(4)와, 상기 압력센서(2)와 자동압력제어밸브(4) 사이에 설치되어 상기 압력센서(2)의 검출 신호에 따라 질소 박스(1)내의 압력이 일정압을 유지하도록 자동압력제어밸브(4)에 제어 신호를 보내는 컨트롤러(5)로 구성된 반도체소자 제조 공정용 질소 박스의 자동 압력 조절장치이다.

대표청구항

웨이퍼가 수납되는 질소 박스 일측에 장착되어 상기 질소 박스 내부의 압력을 검출하는 압력센서와,상기 질소 박스에 연결된 질소가스 공급관에 설치되어 관로의 개폐량을 직접 제어하는 자동압력제어밸브와,상기 압력센서와 자동압력제어밸브사이에 설치되어 상기 압력센서의 검출 신호에 따라 질소 박스내의 압력이 일정압을 유지하도록 자동압력제어밸브에 제어 신호를 보내는 컨트롤러로 구성된 반도체소자 제조 공정용 질소 박스의 자동 압력 조절장치.

웨이퍼가 수납되는 질소 박스 일측에 장착되어 상기 질소 박스 내부의 압력을 검출하는 압력센서와,상기 질소 박스에 연결된 질소가스 공급관에 설치되어 관로의 개폐량을 직접 제어하는 자동압력제어밸브와,상기 압력센서와 자동압력제어밸브사이에 설치되어 상기 압력센서의 검출 신호에 따라 질소 박스내의 압력이 일정압을 유지하도록 자동압력제어밸브에 제어 신호를 보내는 컨트롤러로 구성된 반도체소자 제조 공정용 질소 박스의 자동 압력 조절장치.