초록 ▼

목적: 본 고안은 이온주입기의 이온발생부를 이루는 소스 챔버 내의 이물질을 필라멘트 가열로 제거하는 아웃개싱 작업을 자동으로 이루어지게 하는 이온주입기의 자동 아웃개싱 시스템을 제공한다.구성: 모터의 회전구동에 추종하는 가변저항의 조정변위에 따라 파워 서플라이로부터 소스 챔버에 내설된 필라멘트로 출력되는 전류가 가변되어지도록 구성된 이온주입기의 자동 아웃개싱 시스템에 있어서, 진공이 조성된 소스 챔버의 내부 압력을 모니터링하며, 상기 소스 챔버의 내부 압력이 미리 설정한 제 1 세트 포지션 이하이면 제 1 신호를, 상기 제 1

목적: 본 고안은 이온주입기의 이온발생부를 이루는 소스 챔버 내의 이물질을 필라멘트 가열로 제거하는 아웃개싱 작업을 자동으로 이루어지게 하는 이온주입기의 자동 아웃개싱 시스템을 제공한다.구성: 모터의 회전구동에 추종하는 가변저항의 조정변위에 따라 파워 서플라이로부터 소스 챔버에 내설된 필라멘트로 출력되는 전류가 가변되어지도록 구성된 이온주입기의 자동 아웃개싱 시스템에 있어서, 진공이 조성된 소스 챔버의 내부 압력을 모니터링하며, 상기 소스 챔버의 내부 압력이 미리 설정한 제 1 세트 포지션 이하이면 제 1 신호를, 상기 제 1 세트 포지션보다 다소 높게 설정한 제 2 세트 포지션 이상이면 제 2 신호를 활성화하는 소스이온 게이지 콘트롤러와; 상기 제 1 신호 및 제 2 신호 중의 하나가 활성화되면 상기 모터로 정 혹은 역의 구동전류를 인가하여 모터의 구동 및 그 회전방향을 제어함으로써 상기 필라멘트의 전류를 증대시키거나 감소시키는 모터구동 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.효과: 이상에서 설명한 바와 같이 본 고안은 소스 챔버의 진공도에 따라 필라멘트 전류를 자동으로 조정하여 아웃개싱을 행하게 되므로, 종래의 수작업시보다 아웃개싱에 소요되는 시간을 단축할 수 있고 작업자의 노고가 필요없게 되는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

모터(M)의 회전구동에 추종하는 가변저항(VR)의 조정변위에 따라 파워 서플라이(PS)로부터 소스 챔버(10)에 내설된 필라멘트(FL)로 공급되는 전류가 가변되어지도록 구성된 이온주입기의 아웃개싱 자동 시스템에 있어서,진공이 조성된 소스 챔버(10)의 내부 압력을 모니터링하며, 상기 소스 챔버(10)의 내부 압력이 미리 설정한 제 1 세트 포지션(SPT1) 이하이면 제 1 신호(Sig1)를, 상기 제 1 세트 포지션(SPT1)보다 다소 높게 설정한 제 2 세트 포지션(SPT2) 이상이면 제 2 신호(Sig2)를 활성화하는 소스이온

모터(M)의 회전구동에 추종하는 가변저항(VR)의 조정변위에 따라 파워 서플라이(PS)로부터 소스 챔버(10)에 내설된 필라멘트(FL)로 공급되는 전류가 가변되어지도록 구성된 이온주입기의 아웃개싱 자동 시스템에 있어서,진공이 조성된 소스 챔버(10)의 내부 압력을 모니터링하며, 상기 소스 챔버(10)의 내부 압력이 미리 설정한 제 1 세트 포지션(SPT1) 이하이면 제 1 신호(Sig1)를, 상기 제 1 세트 포지션(SPT1)보다 다소 높게 설정한 제 2 세트 포지션(SPT2) 이상이면 제 2 신호(Sig2)를 활성화하는 소스이온 게이지 콘트롤러(22)와;상기 제 1 신호(Sig1) 및 제 2 신호(Sig2) 중의 하나가 활성화되면 상기 모터(M)로 정 혹은 역의 구동전류를 인가하여 모터(M)의 구동 및 그 회전방향을 제어함으로써 상기 필라멘트(FL)의 전류를 증대시키거나 감소시키는 모터구동 제어부(24)를 구비하는 것을 특징으로 하는 이온주입기의 자동 아웃개싱 시스템.