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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 정광화 |
참여연구자 | 신용현 , 홍승수 , 이철로 , 임재영 , 박재홍 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-05 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
등록번호 | TRKO200200006783 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 기체방출량.기체방출률.고진공.Outgassing.Vaccum.TDS. |
연구의 내용 및 범위
-"Pressure rise method" outgassing 측정 시스템 설계 및 제작
-"Throughput method" outgassing 측정 시스템 설계 및 제작
-Outgassing 측정시스템의 자체 outgassing 측정
-진공 Pump 및 진공도 측정계기 운용상태에 따른 outgasing 측정 및 분석
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