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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1998-0024567 (1998-12-09) |
공개번호 | 20-2000-0011846 (2000-07-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019980024567 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
목적: 본 고안은 이온주입기의 이온발생부를 이루는 소스 챔버 내의 이물질을 필라멘트 가열로 제거하는 아웃개싱 작업을 자동으로 이루어지게 하는 이온주입기의 자동 아웃개싱 시스템을 제공한다.구성: 모터의 회전구동에 추종하는 가변저항의 조정변위에 따라 파워 서플라이로부터 소스 챔버에 내설된 필라멘트로 출력되는 전류가 가변되어지도록 구성된 이온주입기의 자동 아웃개싱 시스템에 있어서, 진공이 조성된 소스 챔버의 내부 압력을 모니터링하며, 상기 소스 챔버의 내부 압력이 미리 설정한 제 1 세트 포지션 이하이면 제 1 신호를, 상기 제 1
모터(M)의 회전구동에 추종하는 가변저항(VR)의 조정변위에 따라 파워 서플라이(PS)로부터 소스 챔버(10)에 내설된 필라멘트(FL)로 공급되는 전류가 가변되어지도록 구성된 이온주입기의 아웃개싱 자동 시스템에 있어서,진공이 조성된 소스 챔버(10)의 내부 압력을 모니터링하며, 상기 소스 챔버(10)의 내부 압력이 미리 설정한 제 1 세트 포지션(SPT1) 이하이면 제 1 신호(Sig1)를, 상기 제 1 세트 포지션(SPT1)보다 다소 높게 설정한 제 2 세트 포지션(SPT2) 이상이면 제 2 신호(Sig2)를 활성화하는 소스이온
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