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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 20-2003-0033724 (2003-10-28) |
등록번호 | 20-0357165-0000 (2004-07-14) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020030033724 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 설정등록의뢰 |
법적상태 | 소멸 |
기판을 수직상태로 이송시키는 기판 이송장치가 개시된다. 그러한 기판 이송장치는 기판을 수직상태로 적치하는 적치대(CASSETTE)와, 상기 적치대로부터 기판을 수직상태로 인출하는 이송부와, 그리고 상기 이송부로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부를 포함한다. 이러한 기판 반송장치는 기판을 수직상태로 이송시킴으로써 기판처리를 위한 공간을 최소화함으로써 설치비 및 설치면적으로 줄일 수 있는 장점이 있다.
(정정)기판을 수직상태로 적치하는 적치대(CASSETTE)와;X,Y,Z 방향으로 이동 가능한 아암과, 진공으로 기판을 흡착하는 흡착패드를 구비하는 로봇을 포함하여, 상기 적치대로부터 기판을 수직상태로 인출하는 이송부와; 그리고상기 이송부로부터 기판을 수직상태로 인수하여 기판처리라인으로 공급하는 수직반송부를 포함하는 기판 반송장치.
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