초록 ▼

본 고안은 반도체 제조에 쓰이는 크라이오 진공펌프 극저온판(cold panel)의 활성탄 흡착 구조를 높은 표면적을 가져 진공실의 가스 흡착능이 극대화되게끔 다공성이면서 미립자상의 입상 활성탄(granular activated carbon)으로 극저온판 표리 양면에 걸쳐 3차원적 그물 형상을 가지는 소정 두께 다층 구조의 흡착제층 또는 다층 구조로 피복된 활성탄 흡착제층 전체 면에 걸쳐서 홀가공을 하여 세공의 관통홀이 일정 간격으로 다수 개 형성된 흡착제층을 형성하는 방법으로 극저온판을 고기능의 활성탄 흡착 구조로 표면 개질시킴으

본 고안은 반도체 제조에 쓰이는 크라이오 진공펌프 극저온판(cold panel)의 활성탄 흡착 구조를 높은 표면적을 가져 진공실의 가스 흡착능이 극대화되게끔 다공성이면서 미립자상의 입상 활성탄(granular activated carbon)으로 극저온판 표리 양면에 걸쳐 3차원적 그물 형상을 가지는 소정 두께 다층 구조의 흡착제층 또는 다층 구조로 피복된 활성탄 흡착제층 전체 면에 걸쳐서 홀가공을 하여 세공의 관통홀이 일정 간격으로 다수 개 형성된 흡착제층을 형성하는 방법으로 극저온판을 고기능의 활성탄 흡착 구조로 표면 개질시킴으로써 기체 분자 크기에 따라 기체의 선택적인 흡착을 가능하게 하고 증가된 표면적으로 진공실 통과 기체의 접촉 체류시간을 증가시키게 하여 단위 면적당 가스 포집 및 부착 능력이 최대화된 크라이오 진공펌프용 극저온판의 고기능 흡착 구조에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

상부 가장자리에 플랜지(11)가 형성된 원통형 펌프 하우징(10) 내측으로 수직 장착된 원통형 냉동 실린더(30) 위로 연장 형성된 연결관(31)을 중심으로 뒤집어진 접시 형상의 극저온판(41)이 다수 개 적층된 극저온판 조립체(40)와 진공용기(radiation shield))(20)가 소정 간격의 동심원상으로 중첩되고 상단부로는 배플(50)이 장착된 2 단계(2 stage) 가스 흡착 구조의 크라이오 진공 펌프에 있어서,상기 극저온판(41)의 표면 및 이면에는 소정 두께로 다공성의 미립자상 입상 활성탄(granular activ

상부 가장자리에 플랜지(11)가 형성된 원통형 펌프 하우징(10) 내측으로 수직 장착된 원통형 냉동 실린더(30) 위로 연장 형성된 연결관(31)을 중심으로 뒤집어진 접시 형상의 극저온판(41)이 다수 개 적층된 극저온판 조립체(40)와 진공용기(radiation shield))(20)가 소정 간격의 동심원상으로 중첩되고 상단부로는 배플(50)이 장착된 2 단계(2 stage) 가스 흡착 구조의 크라이오 진공 펌프에 있어서,상기 극저온판(41)의 표면 및 이면에는 소정 두께로 다공성의 미립자상 입상 활성탄(granular activated carbon)을 둘러싸고 접착제(43)가 녹아서 골고루 스며들도록 접착되어 연속적인 기공 구조를 구비하여 기체 접촉 표면적이 증가되는 다층 피복 구조의 흡착제층(42)이 3차원적 그물 형상으로 형성됨을 특징으로 하는 크라이오 진공펌프용 극저온판의 고기능 흡착 구조 제 1항에 있어서, 기체 분자 크기에 따라 기체의 선택적인 흡착을 가능하게 하고 표면적이 증가되게끔 다공성 활성탄을 둘러싸서 접착제(43)가 점착된 다층 구조의 극저온판(41) 표면 및 이면의 전체 면에 걸쳐서 활성탄 미세 기공에 비하여 상대적으로 대(大)구경의 관통홀(hole)(44)이 일정 간격으로 반복 형성됨을 특징으로 하는 크라이오 진공펌프용 극저온판의 고기능 흡착 구조