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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0325310 (2006-01-05) |
공개번호 | US-0147613 (2006-07-06) |
우선권정보 | KR-2005-0000968(2005-01-05) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A method of measuring a deposition thickness of a deposited material includes measuring an deposition rate of a material effused from an effusion cell using a sensor and calculating the deposition thickness of the material deposited on a substrate using a conversion formula that employs the measured
What is claimed is: 1. A method of determining a deposition thickness in a deposition system, comprising: measuring an deposition rate of a material effused from an effusion cell, the measuring being conducted by a sensor; transmitting the measured deposition rate to a controller; and calculating
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