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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0781502 (2013-02-28) |
공개번호 | US-0104743 (2014-04-17) |
우선권정보 | KR-10-2012-0115026 (2012-10-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
Provided is an electrostatic chuck capable of minimizing short circuits of electrodes due to scratches generated on a surface of the electrostatic chuck, and achieving stable absorption.
1. An electrostatic chuck comprising: an absorption plate configured to absorb and support a target object; andan absorption electrode formed in the absorption plate configured to generate an electrostatic force between the target object and the absorption electrode,wherein the absorption electrode
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