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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 17688786 (2022-03-07) |
공개번호 | 20220282368 (2022-09-08) |
우선권정보 | JP-2021-036247 (2021-03-08) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A method for forming a barium titanate film by conducting an ALD cycle, wherein the ALD cycle comprises forming a titanium oxide film and forming barium oxide film. In the forming of a titanium oxide film, TDMAT (TiN(CH3)24) is used as first raw material gas, and an OH radical is used as reaction ga
1. A method for producing a barium titanate film, comprising forming a barium titanate film on a surface of an object by conducting an ALD cycle in a reaction vessel, wherein the ALD cycle comprises foaming a titanium oxide film and forming barium oxide film,the forming of a titanium oxide film comp
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