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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 18498084 (2023-10-31) |
공개번호 | 20240140076 (2024-05-02) |
우선권정보 | KR-10-2022-0142639 (2022-10-31) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
Provided is a ceramic susceptor, which includes a ceramic plate with a radio-frequency electrode disposed therein, wherein the ceramic plate includes a connector connected to the radio-frequency electrode, the ceramic susceptor includes a rod having one end connected to the connector to supply power
1. A ceramic susceptor comprising a ceramic plate with a radio-frequency electrode disposed therein, wherein the ceramic plate comprises a connector connected to the radio-frequency electrode,the ceramic susceptor comprises a rod having one end connected to the connector to supply power to the radio
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