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Sputtering technique for the deposition of indium oxide 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-015/00
출원번호 US-0836269 (1977-09-26)
발명자 / 주소
  • Gillery
  • F. Howard
출원인 / 주소
  • PPG Industries, Inc.
대리인 / 주소
    Seidel, Donna L.
인용정보 피인용 횟수 : 29  인용 특허 : 1

초록 ▼

Consistent properties for indium oxide films deposited by cathode sputtering over a wide range of outgassing conditions are obtained by adjusting the flow rate of oxygen to maintain a constant discharge current while adjusting the flow rate of argon to maintain a constant pressure in the sputtering

대표청구항

대표청구항이 없습니다.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. Kochel Leroy Joseph (Fridley MN), Method of and apparatus for the radio frequency sputtering of a thin film.
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이 특허를 인용한 특허 (29)

  1. Bitter Lowell E. (Holland MI), Conductive coating treatment of glass sheet bending process.
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  2. Kobayashi, Hidekazu, Electroluminescent display device, method for manufacturing the same, and electronic equipment.
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  3. Finley James Joseph, Heat load reduction windshield.
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  4. Gillery F. Howard (Allison Park PA), High transmittance, low emissivity article and method of preparation.
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  5. Finley James J. (Pittsburgh PA), Low emissivity film for a heated windshield.
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  6. Finley James J. (Pittsburgh PA), Low emissivity film for automotive heat load reduction.
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  7. Finley James J. (Pittsburgh PA), Low emissivity film for high temperature processing.
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  8. Lasdon,Stuart, Low fat peanut butter-like product made with tapioca syrup.
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  9. Gillery F. Howard (Allison Park PA), Low resistance indium oxide coatings.
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  10. Heimbach Klaus J. (Hattersheim DEX) Mnz Wolf-Dieter (Somborn DEX) Adam Rolf (Hanau am Main DEX) Wenzl Heinz (Abstadt DEX), Method and apparatus for forming electrically conductive transparent oxide.
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  11. Thomas Friedrich W. (Hasselroth DEX) Priess Konrad (Hahl am Main DEX), Method and system for regulating the discharge process in a cathode sputtering apparatus.
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  12. Finley James J. (Pittsburgh PA), Method for fabricating an electrically heatable coated transparency.
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  13. Kenworthy James S. (Rockland MA) Kozinski Thomas G. (South Attleboro MA), Method for producing a photoelectroforming mandrel.
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  14. Gillery F. Howard (Allison Park PA), Method of and apparatus for control of reactive sputtering deposition.
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  15. Gillery, F. Howard, Method of and apparatus for control of reactive sputtering deposition.
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  16. Finley James J. (Pittsburgh PA), Method of making low emissivity film for high temperature processing.
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  17. Hollars Dennis R. (Franklin TN), Method of making sputtered coatings.
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  18. Gillery F. Howard (Allison Park PA), Neutral reflecting coated articles with sputtered multilayer films of metal oxides.
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  19. Gillery F. Howard (Allison Park PA), Neutral sputtered films of metal alloy oxides.
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  20. Rukavina Thomas G. ; Hunia Robert M., Primer for promoting adhesion of electroconductive metal oxide coating to plastic substrates.
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  21. Rukavina Thomas G. ; Hunia Robert M., Primer for promoting adhesion of electroconductive metal oxide to plastic substrates.
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  22. Rukavina Thomas G. ; Hunia Robert M., Primer for promoting adhesion of polyurethane to a metal oxide coating.
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  23. Peter Gunter (Plons CHX), Process and apparatus for the production of a metal oxide layer.
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  24. Bitter Lowell E. (Holland MI), Process for making a conductively coated glass member and the product thereof.
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  25. Chang Mei (Cupertino CA) Cheng David (San Jose CA), Process for the plasma treatment of the backside of a semiconductor wafer.
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  26. Gillery F. Howard (Allison Park PA) Criss Russell C. (Pittsburgh PA) Finley James J. (Pittsburgh PA), Protective overcoat for low emissivity coated article.
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  27. Gillery Frank H. (Allison Park PA), Sputtered films of bismuth/tin oxide.
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  28. Gillery F. Howard (Allison Park PA), Sputtered films of metal alloy oxides and method of preparation thereof.
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  29. Gillery F. Howard (Allison Park PA), Sputtered indium oxide films.
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