$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[미국특허] Process for plasma desmear etching of printed circuit boards and apparatus used therein 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B44C-001/22
  • C03C-015/00
  • C03C-025/06
  • B29C-017/08
출원번호 US-0597676 (1984-04-06)
발명자 / 주소
  • Frohlich Sigurd (Santa Barbara CA) Morris James V. (El Toro CA)
출원인 / 주소
  • BMC Industries, Inc. (Saint Paul MN 02)
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 6

초록

The inconsistent etch-back characteristics of conventional plasma treatment of multilayered printed circuit boards, are overcome by use of a shield, preferably of aluminum, temporarily affixed to each surface of the circuit board during the plasma desmear and etch process. The shield is sufficient s

대표청구항

An improved process for desmearing and etching the drilled apertures of a multilayered printed circuit board, the board of the type having a plurality of laminated layers, the process of the type that employs an evacuatable chamber having at least one pair of electrode plates for generating a plasma

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Provancher Donald A. (ChulaVista CA), Laser chem-milling method, apparatus and structure resulting therefrom.
  2. Phillips Eugene (Diamond Bar CA), Method for conditioning drilled holes in multilayer wiring boards.
  3. Fazlin Fazal A. (Saint Anthony Village MN), Plasma desmearing apparatus and method.
  4. Engle Frank W. (Pleasanton CA), Plasma reactor and method therefor.
  5. Shanefield Daniel J. (Princeton Township ; Mercer County NJ) Verdi Fred W. (Lawrence Township ; Mercer County NJ), Printed wiring boards.
  6. Bartlett Charles J. (Madison NJ) Rhodes Ronald J. (South Plainfield NJ) Rust Ray D. (Berkeley Heights NJ), Treating multilayer printed wiring boards.

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Suzuki, Naoki; Nakamura, Youichi; Tomita, Kazuyuki, Board cleaning method, board cleaning apparatus, and component mounting method.
  2. Westfall Raymond T. (Seminole FL) Feldl Erich J. (Seminole FL), Continuous gas plasma etching apparatus and method.
  3. Barkanic John A. (Schnecksville PA) Reynolds Donna M. (Pottsville PA), Desmear and etchback using NF3/O2 gas mixtures.
  4. Kumar, Ajay; Chandrachood, Madhavi R.; Lewington, Richard; Bivens, Darin; Sabharwal, Amitabh; Panayil, Sheeba J.; Ouye, Alan Hiroshi, Method and apparatus for photomask plasma etching.
  5. Todorow, Valentin N.; Holland, John P.; Willwerth, Michael D., Method and apparatus for stable plasma processing.
  6. Todorow, Valentin N.; Holland, John P.; Willwerth, Michael D., Method and apparatus for stable plasma processing.
  7. Fazlin Fazal A. (St. Petersburg FL), Paired electrodes for plasma chambers.
  8. Sekine Makoto (Yokohama JPX) Okano Haruo (Tokyo JPX) Horiike Yasuhiro (Tokyo JPX), Phototreating apparatus.
  9. Tiffin Paula K. (Garland TX), Plasma etching of blind vias in printed wiring board dielectric.
  10. Egitto Frank D. (Binghamton NY) Emmi Francis (Binghamton NY) Mlynko Walter E. (Vestal NY) Susko Robin A. (Owego NY), Process for removing contaminant.
  11. Mlynko Walter E. (Burlington VT), Process for removing contaminant.
  12. Aung David K. (7 Kimbercroft Court Scarborough ; Ontario CAX M1S 4K7), Sputter etching and coating process.

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 특허

해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

문의처: helpdesk@kisti.re.kr전화: 080-969-4114

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로