[특허]Process for plasma-chemical cleaning prior to PVD or PECVD coating

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Process for plasma-chemical cleaning prior to PVD or PECVD coating 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B05D-003/06
출원번호	US-0786267 (1991-11-01)
우선권정보	DE-4034842 (1990-11-02)
발명자 / 주소	Foller Michael (Krefeld DEX) Thne Carl-Stefan (Schnaittach DEX)
출원인 / 주소	Thyssen Edelstalhwerke AG (Krefeld DEX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0

초록 ▼

The invention provides a process for cleaning and subsequent coating of metal surfaces of substrates. The metal surfaces are cleaned with a microwave-excited plasma using oxygen and hydrogen, alternately, as a working gas. The cleaned metal surface is coated by physical vapor deposition (PVD) or pla

대표청구항 ▼

A process for cleaning and subsequent coating of metal surfaces comprising the steps of cleaning a metal surface of a substrate with a microwave-excited plasma using, alternately, oxygen and hydrogen as a working gas, with at least one alternation, and coating the cleaned metal surface by a physical

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Judy H. Huang ; Christopher Dennis Bencher ; Sudha Rathi ; Christopher S. Ngai ; Bok Hoen Kim, Method and apparatus for reducing copper oxidation and contamination in a semiconductor device.
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Sharan,Sujit; Sandhu,Gurtej S.; Blalock,Guy T., Method of forming a conductive contact.
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Mak Alfred ; Lai Kevin ; Leung Cissy ; Ghanayem Steve G. ; Wendling Thomas,DEX ; Jian Ping, Method of forming gate electrode connection structure by in situ chemical vapor deposition of tungsten and tungsten nitride.
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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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