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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0036344 (1993-03-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 0 |
Apparatus and method for increasing the time that a quartz crystal can sense the rate at which evaporated material is broadcast onto a substrate wherein a chopper employing a disk with a slot is disposed between the source of the evaporated material and the crystal to reduce the exposure of the crys
In a control system utilizing a crystal for monitoring the rate of deposition of vaporized material from a material source, the improvements comprising: chopper means disposed between the source of vaporized material and the crystal, wherein said chopper means alternatively blocks vaporized material
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