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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0002925 (1993-01-11) |
우선권정보 | JP-0070162 (1992-02-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 0 |
An improvement is proposed in an electrostatic chuck having a chuck head comprising an electrode layer sandwiched between a backing insulating layer and a frontal insulating layer, which comes into contact with a work piece when the electrostatic chuck is working, by which the electrostatic chuck ca
In an electrostatic chuck having a chuck head comprising an electrode layer sandwiched between a backing insulating layer and a frontal insulating layer coming into contact with a work piece when the electrostatic chuck is working, the improvement which comprises: forming the frontal insulating laye
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