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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0448129 (1995-05-23) |
우선권정보 | DE-4426751 (1994-07-28) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 3 인용 특허 : 0 |
Individual target segments (A-F), are mounted on a mounting plate by means of locating studs inserted into mounting holes of elongate or circular cross sections in correspondence with the change in length caused by the thermal expansion of the target segments. The segments are retained by screws rec
A sputtering target assembly comprising a mounting plate, and a plurality of target segments mounted on said mounting plate, each target segment comprising a target backplate and a target portion bonded to said backplate, each backplate having a peripheral area which extends beyond the target portio
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