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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0033631 (1998-03-03) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 7 |
A method of improving the physical and/or electrical and/or magnetic properties of a thin film material formed on a substrate, wherein the properties of the thin film material are stress-dependent, by selectively applying force to the substrate during the film formation and/or thereafter during the
[ What is claimed is:] [1.] A method of improving the physical and/or electrical properties and/or magnetic properties of a product film formed on a substrate by deposition on the substrate of film-forming material for the product film, wherein said properties of the product film are stress-dependen
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