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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0670483 (2000-09-26) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 14 인용 특허 : 3 |
A method of reducing plasma-induced damage in a substrate, comprising providing a post-deposition ramp down of a plasma source power used in generating a plasma for substrate processing.
1. A method of plasma processing, comprising the steps of: (a) positioning a substrate in a chamber; (b) flowing one or more process gases into the chamber; (c) igniting a plasma from the one or more process gases by applying a plasma source power at a first power level; (d) depositing a mater
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