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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0006657 (2001-12-10) |
우선권정보 | JP-0376599 (2000-12-11); JP-0134121 (2001-05-01); JP-0134122 (2001-05-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 4 |
Disclosed is an electrostatic chuck having a coating layer (3) surrounding an insulating layer (1,2) and the eletrodes (3) consists essentially of non-crystalline carbon (DLC) having electric resistivity ranging from 10 sup 8 to 10 sup 13 Ω-cm. The coating layer preferably contains 15-26 atom % of h
Disclosed is an electrostatic chuck having a coating layer (3) surrounding an insulating layer (1,2) and the eletrodes (3) consists essentially of non-crystalline carbon (DLC) having electric resistivity ranging from 10 sup 8 to 10 sup 13 Ω-cm. The coating layer preferably contains 15-26 atom % of h
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