[특허]Ceramic heater

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Ceramic heater 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H05B-003/68 C23C-016/00
출원번호	US-0226160 (2002-08-23)
우선권정보	JP-0225696 (1999-08-09); JP-0131210 (2000-04-28)
발명자 / 주소	Ito, Yasutaka Hiramatsu, Yasuji
출원인 / 주소	Ibiden, Co., LTD
대리인 / 주소	Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C.
인용정보	피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 4

초록 ▼

An object of the present invention is to provide a ceramic heater making it possible to suppress an outflow of heat to a supporting case and so on to make the temperature of its ceramic substrate uniform. The ceramic heater of the present invention is a ceramic heater wherein a heating element is arranged on a surface of a ceramic substrate or inside the ceramic substrate, the surface roughness Rmax of the side face of the ceramic substrate being from 0.1 to 200 μm according to JIS B 0601.

대표청구항 ▼

1. A ceramic heater comprisinga ceramic substrate having two opposing surfaces and a side face, anda heating element on one of the two opposing surfaces of the ceramic substrate or inside the ceramic substrate, whereinthe surface roughness Rmax of the side face of the ceramic substrate is from 0.1 to 200 μm according to JIS B 0601. 2. The ceramic heater according to claim 1, wherein said surface roughness Rmax is from 0.5 to 200 μm according to JIS B 0601. 3. The ceramic heater according to claim 1, wherein said ceramic substrate is fitted into a supporting case. 4. The ceramic heater according to claim 1, wherein said ceramic substrate is made of a nitride ceramic. 5. The ceramic heater according to claim 1, wherein said ceramic substrate is made of a carbide ceramic or an oxide ceramic. 6. The ceramic heater according to claim 1, wherein said ceramic heater is for heating a semiconductor wafer. 7. The ceramic heater according to claim 1, wherein the thickness of said ceramic substrate is over 1.5 mm.

이 특허에 인용된 특허 (4)

Kawada Nobuo (Gunma-ken JPX) Kano Shoji (Gunma-ken JPX) Hagiwara Koji (Gunma-ken JPX) Arai Nobuo (Gunma-ken JPX) Arami Junichi (Tokyo JPX) Ishikawa Kenji (Kanagawa-ken JPX), Ceramic electrostatic chuck with built-in heater.
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Yasutaka Ito JP; Yasuji Hiramatsu JP, Ceramic heater.
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Kubota Yoshihiro (Gunma-ken JPX) Mogi Hiroshi (Gunma-ken JPX), Ceramic heater made of fused silica glass having roughened surface.
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Hiramatsu, Yasuji; Ito, Yasutaka, Ceramic substrate and process for producing the same.
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이 특허를 인용한 특허 (6)

Zucker, Martin L.; Devine, Daniel J.; Lee, Young Jai, Electrostatic chuck system and process for radially tuning the temperature profile across the surface of a substrate.
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Goto,Yoshinobu; Tsuruta,Hideyoshi, Heating systems.
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Maurin-Perrier, Philippe; Terme, Benoit; Heau, Christophe, Method for fabricating a heating element by depositing thin layers on an insulating substrate and the element thus obtained.
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Lin, Hongy; Laskowski, Thomas; Smith, Jason E., Methods of making ceramic heaters with power terminals.
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Komatsu, Tomohito, Mounting table structure and heat treatment apparatus.
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Lin, Hongy; Laskowski, Thomas M.; Smith, Jason E., Power terminals for ceramic heater and method of making the same.
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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