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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 15909040 (2018-03-01) |
등록번호 | 10566218 (2020-02-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A ceramic heater includes a disk-shaped ceramic plate with an upper surface defining a wafer placement surface on which a wafer is to be placed. One or more inner-peripheral-side heater elements are embedded in an inner peripheral zone of the ceramic plate, and one or more outer-peripheral-side heat
1. A ceramic heater comprising a disk-shaped ceramic plate with an upper surface defining a wafer placement surface on which a wafer is to be placed, one or more inner-peripheral-side heater elements embedded in an inner peripheral zone of the ceramic plate, and one or more outer-peripheral-side hea
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