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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0112113 (2005-04-22) |
등록번호 | US-7305311 (2007-12-04) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 85 인용 특허 : 64 |
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What is claimed is: 1. A method of delivering radio frequency power to a plasma load, comprising: a) providing an RF power generator that transfers radio frequency power to the plasma load; b) measuring a value of a parameter related to the power transfer from the RF power generator to the plasma l
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