[특허]Method of making pressure transducer and apparatus

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01L-009/04
출원번호	US-0810606 (2007-06-06)
등록번호	US-7412892 (2008-08-19)
발명자 / 주소	Gross,Chris
출원인 / 주소	Measurement Specialties, Inc.
대리인 / 주소	Howard IP Law Group PC
인용정보	피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 40

초록 ▼

A method for making a pressure transducer comprising: forming a recess in a diaphragm, the diaphragm having a thinned region that deflects responsively to pressure being applied thereto; depositing a glass frit in the recess; embedding a plurality of strain gages in the glass frit; and, wire bonding

대표청구항 ▼

What is claimed is: 1. A method for making a pressure transducer comprising: forming a recess in a diaphragm, the diaphragm having a thinned region that deflects responsively to pressure being applied thereto; depositing a glass frit in the recess; embedding a plurality of strain gages in the glass frit; and, wire bonding the strain gages into a Wheatstone bridge configuration. 2. The method of claim 1, wherein the forming comprising machining. 3. The method of claim 1, further comprising firing the glass frit after depositing and prior to embedding. 4. The method of claim 1, wherein the embedding comprises: placing the plurality of strain gages on the glass frit; and, firing the glass frit and strain gages. 5. The method of claim 1, further comprising securing the diaphragm to a port. 6. The method of claim 1, wherein the Wheatstone bridge configuration is a full bridge configuration. 7. The method of claim 1, wherein the step of depositing glass frit comprises dispensing said glass frit into said recess using a paste dispenser. 8. The method of claim 7, wherein said paste dispenser is a constant volume paste dispenser to provide a uniform thickness glass frit layer. 9. The method of claim 1, wherein said strain gages are on a silicon die. 10. A pressure transducer comprising: a diaphragm having a thinned region; a recess in the diaphragm; a glass frit in the recess; and, a plurality of strain gages in the glass frit; wherein, when a pressure is applied to the diaphragm, the thinned region deflects, and the resistance of the strain gages change responsively thereto. 11. The pressure transducer of claim 10, further comprising a port coupled to the diaphragm. 12. The pressure transducer of claim 10, wherein the diaphragm is metal. 13. The pressure transducer of claim 10, wherein the strain gages are coupled in a Wheatstone bridge configuration. 14. The pressure transducer of claim 13, wherein the Wheatstone bridge configuration is a full bridge configuration. 15. The pressure transducer of claim 10, wherein the recess is smaller than the thinned region. 16. The pressure transducer of claim 15, wherein the recess is in the thinned region. 17. The pressure transducer of claim 10, wherein the strain gages are serpentine semiconductor strain gages. 18. The pressure transducer of claim 10, further comprising wire bonds coupled to each of the strain gages.

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