최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0373564 (2006-03-10) |
등록번호 | US-7428373 (2008-09-23) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 24 |
Systems and methods are provided for delivering solid precursors. In certain embodiments of the present application, a flow monitor, pressure sensor, or temperature sensor is used to measure and regulate the flow of vaporized solid precursor material from a vaporization chamber to a deposition chamb
What is claimed is: 1. A device comprising a vapor delivery system, said vapor delivery system comprising: a vaporization chamber; a first surface within said vaporization chamber; a solid precursor material supported by said first surface within said chamber; a heating device configured to heat sa
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.