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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | UP-0834994 (2007-08-07) |
등록번호 | US-7619870 (2009-11-27) |
우선권정보 | JP-2006-218446(2006-08-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 4 |
An electrostatic chuck device includes an electrostatic chuck section including a substrate and a power supply terminal for applying a DC voltage to an electrostatic-adsorption inner electrode; and a metal base section fixed to the other main surface of the electrostatic chuck section. Here, a conc
What is claimed is: 1. An electrostatic chuck device comprising: an electrostatic chuck section including a substrate, which has a main surface serving as a mounting surface on which a plate-like sample is mounted and an electrostatic-adsorption inner electrode built therein, and a power supply ter
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