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[미국특허] Epitaxial growth of single crystalline MgO on germanium 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • H01L-021/02
  • H01L-029/10
  • H01L-029/12
  • H01L-021/00
출원번호 US-0905675 (2010-10-15)
등록번호 US-8766341 (2014-07-01)
발명자 / 주소
  • Han, Wei
  • Zhou, Yi
  • Wang, Kang-Lung
  • Kawakami, Roland K.
출원인 / 주소
  • The Regents of the University of California
대리인 / 주소
    Withrow & Terranova, P.L.L.C.
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 4

초록

The embodiments disclosed herein relate to growth of magnesium-oxide on a single crystalline substrate of germanium. The embodiments further describes a method of manufacturing and crystalline structure of a FM/MgO/Ge(001) heterostructure. The embodiments further related to method of manufacturing a

대표청구항

1. A method for creating a heterostructure comprising: providing a substrate having a first layer, wherein the first layer includes a substantially single crystalline germanium (Ge);placing the substrate into a molecular beam epitaxy chamber;annealing the substrate; anddepositing a second layer onto

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Norton David P., Method of physical vapor deposition of metal oxides on semiconductors.
  2. Hung Liang-Sun (Webster NY), Multilayer structure having an epitaxial metal electrode.
  3. Nashimoto Keiichi (Kanagawa JPX), Oriented ferroelectric thin film.
  4. Emrick, Rudy M.; Bosco, Bruce Allen; Holmes, John E.; Franson, Steven James; Rockwell, Stephen Kent, Structure and method for fabricating configurable transistor devices utilizing the formation of a compliant substrate for materials used to form the same.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Chen, Wei; Harms, Jonathan D.; Murthy, Sunil, Magnetic cell structures, and methods of fabrication.
  2. Chen, Wei; Harms, Jonathan D.; Murthy, Sunil, Magnetic cell structures, and methods of fabrication.
  3. Meade, Roy E.; Pandey, Sumeet C.; Sandhu, Gurtej S., Magnetic memory cells and methods of fabrication.
  4. Sandhu, Gurtej S.; Kula, Witold, Magnetic memory cells, methods of fabrication, semiconductor devices, memory systems, and electronic systems.
  5. Meade, Roy E.; Pandey, Sumeet C.; Sandhu, Gurtej S., Memory cells, methods of fabrication, and semiconductor devices.
  6. Siddik, Manzar; Lyle, Andy; Kula, Witold, Memory cells, methods of fabrication, and semiconductor devices.
  7. Sandhu, Gurtej S.; Pandey, Sumeet C., Memory cells, semiconductor structures, semiconductor devices, and methods of fabrication.
  8. Sandhu, Gurtej S.; Kula, Witold, Methods of forming magnetic memory cells and semiconductor devices.
  9. Siddik, Manzar; Lyle, Andy; Kula, Witold, Semiconductor devices with magnetic and attracter materials and methods of fabrication.
  10. Siddik, Manzar; Lyle, Andy; Kula, Witold, Semiconductor devices with magnetic regions and attracter material and methods of fabrication.
  11. Sandhu, Gurtej S.; Pandey, Sumeet C., Semiconductor structures and devices and methods of forming semiconductor structures and magnetic memory cells.
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