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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 16352565 (2019-03-13) |
등록번호 | 10497600 (2019-12-03) |
우선권정보 | JP-2018-047010 (2018-03-20); JP-2018-203734 (2018-10-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
According to the embodiment, the first invention relates to an electrostatic chuck. The electrostatic chuck includes a ceramic dielectric substrate having a first major surface placing a suction object and a second major surface on an opposite side to the first major surface, a base plate supporting
1. An electrostatic chuck, comprising: a ceramic dielectric substrate having a first major surface placing a suction object and a second major surface on an opposite side to the first major surface;a base plate supporting the ceramic dielectric substrate and including a gas introduction path; anda f
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