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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | EP-0056322 (2009-05-25) |
공개번호 | WO-0094343 (2010-08-26) |
우선권정보 | IT UD2009A000042 20090223 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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Embodiments of the present invention generally provide a device for handling substrates. The device includes a body having a substrate receiving surface surrounding a gas injection port and a gas exhaust port. A gas source is connected to the gas injection port. The gas exhaust port is one or more p
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