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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A3 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0060882 (2009-10-15) |
공개번호 | WO-0048032 (2010-07-15) |
우선권정보 | US 25544208 20081021 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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A method and apparatus for replacing a polishing pad conditioning disk is a chemical mechanical polishing system is provided. The apparatus comprises a disk load/unload station for unloading used conditioning disks from a pad conditioning assembly and loading unused conditioning disks onto the pad c
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