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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0036659 (2013-04-15) |
공개번호 | WO-0162938 (2013-10-31) |
우선권정보 | US-201261638375 (2012-04-25); US-201313860475 (2013-04-10) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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Embodiments include a base for an electrostatic chuck (ESC) assembly for supporting a workpiece during a manufacturing operation in a processing chamber, such as a plasma etch, clean, deposition system, or the like. Inner and outer fluid conduits are disposed in the base to conduct a heat transfer f
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